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3D飞点分光干涉仪

3D飞点分光干涉仪

lehu官方网站行智自主研发的3D测量专用系统，专业用于超高精度高反光及透明材质尺寸测量

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∙ 超高精度：重复精度30nm
∙ 超高速度：扫描速度70KHz
∙ 扫描范围广：最大直径40mm
∙ 适应性强：可适用于测量强反射、弱反射及透明物体等多种物体
∙ 经济性：加入光学振镜扫描， 可替代昂贵的高精密位移台
∙ 稳定性更强：分光模块与光学振镜模块化设计


 


 



  • 机械结构图-3D飞点分光干涉仪-接收端 2.62 MB 下载
  • 机械结构图-3D飞点分光干涉仪-采集端 0.79 MB 下载
  • 3D飞点分光干涉仪 Datasheet V1.0 1.00 MB 下载
  • lehu官方网站行智-3D飞点分光干涉仪SDK（v1.1.0） 52.49 MB 下载

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